[发明专利]机械零件的表面处理方法在审
| 申请号： | 202110116555.2 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114807835A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李万品 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的机械零件的表面处理方法，包括：清洗并干燥机械零件；将所述机械零件置于腔体内，并使所述腔体具有预定真空度；使用金属靶材对所述机械零件进行离子清洗；在所述机械零件的表面沉积形成金属膜；以及使用碳源在所述金属膜上沉积形成掺杂合金的DLC复合膜。本发明能在工件的表面形成高附着性、耐磨的DLC膜层，从而避免DLC膜层剥落的情况、提高工件的耐磨性，从而延长工件使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 机械零件 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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