[发明专利]一种氮化硼涂层蒸发舟及其制备方法在审
| 申请号： | 202110116731.2 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112898049A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;胡昌凯 | 申请（专利权）人： | 赛瑞特科技（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C23C16/34;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 刘继富;王春伟 |
| 地址： | 350018 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氮化硼涂层蒸发舟及其制备方法，其中制备方法包括：将硼源置于氮化硼材质的反应室底部，将石墨蒸发舟基体置于反应室并与硼源之间保持20～50mm的距离，硼源选自三氧化二硼和硼酸中的任一种；将反应室置于化学气相沉积炉，将化学气相沉积炉抽真空后升温至500～700℃后通入氮气，使炉内保持正压并在反应中持续通入氮气；使化学气相沉积炉升温至反应温度1750～1950℃，保温时间为1～8h，在石墨蒸发舟基体上沉积生长氮化硼涂层。本发明的原料无毒不易燃、安全易得，制备工艺更加环保和安全。且制备工艺易于控制，反应室可以成批放置在化学气相沉积炉中，生产效率高，适合大批量、规模化的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 涂层 蒸发 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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