[发明专利]一种基于透光板的芯片封装方法及其封装结构有效

专利信息
申请号: 202110119823.6 申请日: 2021-01-28
公开(公告)号: CN112466857B 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 杨斌;崔成强;罗绍根 申请(专利权)人: 广东佛智芯微电子技术研究有限公司;广东芯华微电子技术有限公司
主分类号: H01L25/07 分类号: H01L25/07;H01L23/31;H01L21/56
代理公司: 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 代理人: 陈志超;黄家豪
地址: 528225 广东省佛山市南海区狮山镇*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供一种基于透光板的芯片封装方法及其封装结构,包括:提供透光板,于透光板的第一侧面蚀刻具有预设线路形状的凹槽或通孔;提供纳米导电金属颗粒,将纳米导电金属颗粒填充于凹槽或通孔中;提供至少一个第一芯片,将第一芯片设置于透光板的第一侧面的预设位置处,且第一芯片的电信号连接凸点与纳米导电金属颗粒相接;采用第一激光于透光板的第二侧面对纳米导电金属颗粒进行照射,使纳米导电金属颗粒烧结形成预设线路,并使第一芯片的电信号连接凸点与预设线路形成电性连接。本申请利用透光板的透光优势,在透光板的另一面采用激光将纳米导电金属颗粒直接烧结成型,在封装线路成型的同时,也实现了芯片与封装线路的电性连接,简化工艺流程。
搜索关键词: 一种 基于 透光 芯片 封装 方法 及其 结构
【主权项】:
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