[发明专利]太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池及其制备方法，该制备方法包括：在硅基体的表面形成一层钝化层；在钝化层背向硅基体的表面形成第一掺杂硅薄膜；在第一掺杂硅薄膜背向硅基体的表面形成第二层硅薄膜，第二层硅薄膜包括和第一掺杂硅薄膜接触的第一部分和第二部分；对第一部分进行第二掺杂处理，并去除第二部分，使第一掺杂硅薄膜露出；对经第二掺杂处理后的硅基体进行退火处理，使第二层硅薄膜形成第二掺杂硅层，以及使第一掺杂硅薄膜形成第一掺杂硅层；在与第二掺杂硅层相对的硅基体的表面形成金属电极，使金属电极和第二掺杂硅层欧姆接触，得到太阳能电池。通过该制备方法制得的太阳能电池的金属电极不会穿透至钝化层且具有良好的透光率。