[发明专利]太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳能电池及其制备方法。该方法包括：在硅基体的表面形成一层钝化层；在钝化层的表面形成第一层硅薄膜，第一层硅薄膜包括第一部分和第二部分；对第一部分进行第一掺杂处理，并去除第二部分；然后在第一部分的表面和钝化层的表面形成第二层硅薄膜，位于第一部分的表面的第二层硅薄膜向外凸出于位于钝化层的表面的第二层硅薄膜；对第二层硅薄膜进行第二掺杂处理；对硅基体进行退火处理，使第一部分形成第一掺杂硅层，使第二层硅薄膜形成第二掺杂硅层；在第二掺杂硅层背向硅基体的一侧且和第一掺杂硅层相对的位置形成金属电极，使金属电极和第二掺杂硅层欧姆接触，得到金属电极不会穿透至钝化层且具有良好透光率的太阳能电池。