[发明专利]电子级化学品采样系统和方法在审
| 申请号： | 202110121378.7 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112945629A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 蒲以松 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10;B08B15/02;B08B9/34 |
| 代理公司： | 北京远创理想知识产权代理事务所(普通合伙) 11513 | 代理人： | 郝杰 |
| 地址： | 710032 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级化学品采样系统和方法，所述电子级化学品采样系统，包括密封的通风橱、设置在所述通风橱内的工作台、用于向所述通风橱内输送化学品的化学品管路、设置在所述通风橱内的操作装置、进气管、排气管和取样口，所述进气管用于向所述通风橱内持续通入洁净空气，所述排气管用于排出所述通风橱内的气体，所述化学品管路上设置有阀门，所述操作装置用于操纵放置在工作台上的取样瓶，控制取样瓶容纳所述化学品管路中放出的待采样的化学品并封闭所述取样瓶，所述取样口用于取放所述通风橱内的所述取样瓶。本发明提供的电子级化学品采样系统和方法能够避免样品受到环境污染，保证测量结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 化学品 采样系统 方法 | ||
【主权项】：
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