[发明专利]一种CVD沉积石墨烯的规模化制备设备在审
| 申请号： | 202110121682.1 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112723347A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 孙华 | 申请（专利权）人： | 孙华 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543 | 代理人： | 白鹤 |
| 地址： | 201401 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯制取设备技术领域，尤其是涉及一种CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。制备设备包括制备腔室、反应室、冷却室、液体气密池和传送带组件；将反应室、冷却室设置在密闭的制备腔室内，并且通过液体气密池对主腔室内的空间进行密封，确保主腔室内具有良好的密闭性，避免了在石墨烯生产过程中进入空气发生设备爆炸的事故；传送带组件能够带动基底依次通过反应室和冷却室，能够实现基底相对于反应室的连续性输出，进而实现了石墨烯生产的连续性，完整性，实现了石墨烯的规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 沉积 石墨 规模化 制备 设备 | ||
【主权项】：
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