[发明专利]一种阳极结构、电极机构及电镀系统在审
申请号: | 202110122870.6 | 申请日: | 2021-01-29 |
公开(公告)号: | CN112779591A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 韩友生;方荣平;袁晓波 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;C25D17/00;C25D5/08 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张乐乐 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及电镀技术领域,具体提供了一种阳极结构、电极机构及电镀系统,其中阳极结构包括主阳极件和至少一个辅阳极件,分别与外部电源的正极电性连接,主阳极件较辅阳极件适于靠近待电镀的阴极件,任一辅阳极件的有效作用面小于主阳极件的有效作用面,且辅阳极件的有效作用面在阴极件的阴极面上的投影落入阴极面的四周边缘之内。通过在主阳极件的一侧设置至少一个辅阳极件,通电后的辅阳极件产生的电流能够落入到阴极件的阴极面的四周边缘之内,对位于阴极面四周边缘之内的电流进行补充增加,使得阴极件受到的电流能够在阴极面上均匀分布,克服导致工件上的电镀层的层厚不均匀及工件电镀效果不均匀的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 阳极 结构 电极 机构 电镀 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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