[发明专利]蒸镀掩模的制造方法及蒸镀掩模的制造装置有效
| 申请号： | 202110124821.6 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113308667B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 山田哲行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够减少剥离不良的蒸镀掩模的制造方法及制造装置。在蒸镀掩模的制造方法中，在形成有蒸镀图案的第一镀敷层上经由粘接层配置掩模框架，在掩模框架上配置间隔件，以覆盖第一镀敷层、掩模框架和间隔件的方式配置膜，对膜的下方侧的空间进行减压，使得膜按压间隔件，通过间隔件按压掩模框架，来将掩模框架与所述镀敷层压接在一起。根据本发明，能够减少剥离不良。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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