[发明专利]一种膜厚测量装置及膜厚测量方法在审
| 申请号： | 202110125444.8 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112781509A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 冯宗宝 | 申请（专利权）人： | 冯宗宝 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜厚测量装置，包括：承载平台、固定装置、测量单元、通讯导线及后处理单元；其中承载平台用于承载膜厚待测样片；固定装置设有多个呈阵列式分布的测量孔；测量单元包括测量探头；后处理单元用以分析处理来自测量单元的信号并输出测量结果。本发明在测量单元中引入测量探头，且测量探头采用阵列式分布模式，对膜厚待测样片一次性进行多点厚度测量，综合各点测量数据，从而准确高效完成大面积薄膜涂布膜层的厚度表征，并可在特殊环境中对具有特殊要求的膜层进行膜厚测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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