[发明专利]一种半导体设备的张力自动监控系统在审
| 申请号： | 202110127744.X | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112985670A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘汉子 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/04 | 分类号： | G01L5/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体设备的张力自动监控系统，包括：机台本体，所述机台本体上设置有皮带，所述皮带用于传送晶圆；轨道支架，设置在所述机台本体的一侧；轨道单元，垂直设置在所述轨道支架上；压力测量单元，与所述轨道单元滑动连接，且与所述皮带位于同一水平方向上；驱动机构，与所述压力测量单元连接，所述驱动机构用于驱动所述压力测量单元；以及控制器，与所述驱动机构和所述压力测量单元连接；其中，所述压力测量单元所述驱动机构驱动所述压力测量单元向所述皮带方向运动，使所述压力测量单元接触所述皮带，所述压力测量单元每次前进的距离相同。本发明能实时监控所述半导体设备中的皮带张力是否发生变化，测量结果可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 张力 自动 监控 系统 | ||
【主权项】：
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