[发明专利]一种平衡重力的半导体磨片机大盘沟槽清理设备在审
| 申请号： | 202110130605.2 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112809552A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 戴超;张淳;李伦;邢子淳;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明创造提供了一种平衡重力的半导体磨片机大盘沟槽清理设备，大盘，用于对大盘进行清理的清洁设备，所述清洁设备包括清理组件、安装在清理组件上的手控组件、以及用于支撑清理组件的支撑组件；所述清理组件包括刀具，所述刀具通过平移组件移动安装在第一连接板上，所述支撑组件包括多个支撑轮，支撑轮分别设置在刀具两旁用于支撑刀具，所述手控组件安装在第一连接板侧壁上，所述刀具放置在大盘端面通过平移组件运行对大盘进行清理。本发明创造所述的平衡重力的半导体磨片机大盘沟槽清洁设备可以实现半自动清洁大盘沟槽残留物，有效地避免了刮伤大盘的弊端,更加节省人力，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平衡 重力 半导体 磨片机 大盘 沟槽 清理 设备 | ||
【主权项】：
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