[发明专利]一种氧化铟掺钨靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110133149.7 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112853285B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 陆映东;薛超;张倍维;王凯;宋春华;梁盈祥 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铟掺钨靶材的制备方法，包括以下步骤：（一）含铟原料的制备：将铟金属用有机酸进行溶解，得到有机酸铟溶液待用或者进一步向其中加入醇，使其产生氢氧化铟沉淀待用；（二）混入含钨原料：将仲钨酸铵或偏钨酸铵溶解于上述有机酸铟溶液或氢氧化铟与水的混合物中；（三）经过喷雾干燥即得铟钨元素混合均匀的粉末，为IWO前驱体；（四）将所得IWO粉末前驱体，经煅烧后得IWO粉末；（五）经成型、烧结后得IWO靶材。本发明采用的含铟原料和含钨原料中至少1种原料是以溶液的形式存在，并进行混合，由于是液‑液混合或液‑固混合，所以较粉末与粉末混合更加均匀，因此使得制备的IWO靶材，钨的掺杂更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铟掺钨靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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