[发明专利]缺陷检测晶圆图优化方法及其优化系统

摘要

本发明提供了一种缺陷检测晶圆图优化方法及其优化系统，所述缺陷检测晶圆图优化方法包括以下步骤：通过机台端对晶圆进行缺陷检测并得到晶圆图；对所述晶圆上的各个芯片进行针测，并将所述芯片的针测数据导入所述机台端；根据各个芯片的针测数据生成晶圆针测图；使所述晶圆针测图与所述晶圆图的比例及坐标均保持一致以对所述晶圆针测图和所述晶圆图进行比对，并在所述晶圆图中标记出不在所述晶圆针测图中的芯片。通过将针测数据导入机台端并生成晶圆针测图，并将所述晶圆针测图与机台端的晶圆图进行比对，能够高效、准确的标记出无效芯片，实现晶圆图的优化，从而释放机台产能，节省时间并降低人力消耗。