[发明专利]一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法在审
| 申请号： | 202110134145.0 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112945110A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种减反膜的厚度测量装置及原位监控减反膜生长的方法，属于减反膜厚度检测技术领域，包括：样品台，具有容纳太阳能电池的凹腔；激光发射器，其激光发射方向朝向所述太阳能电池表面的减反膜设置；电流测试仪，其正负极分别与所述太阳能电池的相对两侧电连接；本发明提供的减反膜的厚度测量装置，通过激光发射器照射在太阳能电池表面上产生电流，使用电流测试仪对太阳能电池产生的电流进行检测，当减反膜的厚度不同时，激光照射所产生的电流也会有所不同，通过检测电流的大小，进而判断减反膜的厚度，保证减反膜厚度测量准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减反膜 厚度 测量 装置 原位 监控 生长 方法 | ||
【主权项】：
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