[发明专利]一种双面晶圆外观缺陷检测机在审
| 申请号： | 202110134535.8 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112791976A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 杨勇 | 申请（专利权）人： | 苏州矩浪科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/34 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 刘巍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面晶圆外观缺陷检测机，该检测机是一种多层结构体，包括机架，所述机架上分别设置有A面Y轴运动模组、B面Y轴运动模组和B面X轴运动模组，所述A面Y轴运动模组上设置有A面X轴运动模组，所述A面X轴运动模组上设置有A面视觉检测机构，所述B面X轴运动模组上设置有B面视觉检测机构，所述机架上位于所述A面视觉检测机构和所述B面视觉检测机构之间设置有传输装置。本发明的有益效果是，本发明提供的检测机可对晶圆的双面同步进行检测，检出率非常高，该设备具备各种报警管控功能，产线出现大规模品质异常，可及时发现改善制程，避免工厂不必要的损失，可以有效提高检测效率，减少人工费用的支出，有效降低次品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 外观 缺陷 检测 | ||
【主权项】：
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