[发明专利]LDI光刻胶专用环氧丙烯酸树脂的组合物及制造方法有效
| 申请号： | 202110134670.2 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112965338B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 高付有 | 申请（专利权）人： | 深圳市德贝尔光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 田江飞 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了LDI光刻胶专用环氧丙烯酸树脂的组合物及制造方法，涉及线路板生产技术领域，该LDI光刻胶专用环氧丙烯酸树脂的组合物由以下重量份数的成分组成：丙烯酸双环戊二烯基氧乙酯38‑48份，聚氨酯改性环氧丙烯酸树脂15‑25份，三芳基硅氧醚0.5‑0.7份，活性增感助剂0.01‑0.05份，过氧化苯甲酰0.03‑0.05份，酸扩散抑制剂0.02‑0.05，丙烯酸类自由基活性稀释剂2‑7份，丙二醇醚8‑13份，本发明LDI光刻胶专用环氧丙烯酸树脂的组合物固化速度快，固化后收缩量较小，光刻分辨率高，集成电路的集成度高。 | ||
| 搜索关键词： | ldi 光刻 专用 丙烯酸 树脂 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
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