[发明专利]一种用于MEMS摩阻传感器封装的多通道吸附装置

摘要

本发明公开了一种用于MEMS摩阻传感器封装的多通道吸附装置，包括承载板、第一吸头和第二吸头，承载板内设置有第一通道、至少一个第二通道，第一吸头包括第一吸头本体、设于第一吸头本体内的第一通孔，第一吸头本体的一端与承载板相连接，第一通孔与第一通道的一端相连通，第二吸头包括支板、安装在支板底端的至少一个第二吸头本体以及开设在支板上的容纳孔，支板连接在承载板的底端，每个第二吸头本体与支板之间连通有通道组件，每个通道组件与对应的第二通道的一端相连通，第一吸头本体的另一端伸入容纳孔内。本发明将封装过程中的三次器件搬运动作通过一组复合吸头实现，简化了结构，并且该种复合吸头可以拓展延伸到其他类型的MEMS器件的封装过程。