[发明专利]金属氧化物单晶生长用坩埚在审
申请号: | 202110135745.9 | 申请日: | 2021-02-01 |
公开(公告)号: | CN113308735A | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 干川圭吾;小林拓实;大塚美雄 | 申请(专利权)人: | 不二越机械工业株式会社 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B11/00;C22C5/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 褚瑶杨;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种金属氧化物单晶生长用坩埚,容易获得坩埚的定径部的厚度和强度(硬度)的平衡,还能进行大径的晶体的生长。本发明的坩埚(10)为一种金属氧化物单晶生长用的坩埚,其特征在于,坩埚(10)的定径部(20)的外周面上设置有增强用的带材(22)。另外,可以采用坩埚(10)的上部(18)的厚度比坩埚(10)的下部(12)的厚度形成得薄、坩埚(10)的上部(18)为定径部(20)的坩埚(10)。 | ||
搜索关键词: | 金属 氧化物 生长 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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