[发明专利]一种碳化硅外延炉反应室在审
| 申请号： | 202110137060.8 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112962140A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 巴赛;胡凡;陈国钦;袁祖浩;巩小亮;林伯奇;龙长林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅外延炉反应室，包括石英管、第一密封法兰、第二密封法兰以及密封件，所述石英管外周设有水冷夹套且内部设有反应装置，所述第一密封法兰套设于所述石英管外周并与所述水冷夹套抵接，所述第二密封法兰与所述第一密封法兰相连，所述密封件夹设于第一密封法兰与第二密封法兰之间，所述第二密封法兰内设有隔热筒，所述隔热筒端部与所述反应装置抵接。本发明具有结构简单、可靠，有利于防止密封圈高温失效等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 反应 | ||
【主权项】：
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