[发明专利]一种MWDM滤光片薄膜制作方法在审
| 申请号： | 202110137361.0 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112962074A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈国彦;曹华燕;周培;伍梓辉 | 申请（专利权）人： | 深圳正和捷思科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/10;G02B5/20 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 崔艳峥 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MWDM滤光片薄膜制作方法，包括下列步骤：对玻璃基板进行清洗，在玻璃基板上加上100～300V的负偏压，通过平面磁控溅射沉积技术对玻璃基板进行镀膜，在溅射过程中，靶为平面阴极，平行在平面阴极上面的磁场将自由电子限制在阴极靶材表面，离子源将氩气电离为氩离子，进而轰击靶表面，溅射出来的材料再与氧气结合形成氧化物，生成的氧化物再快速沉积在玻璃基板上形成光学薄膜，光学薄膜的膜系为TA2O5材料及SIO2材料相交替叠加，同时利用计算机进行光量值控制，再对玻璃基板的非镀膜面进行研磨抛光和切割。与现有技术相比，本发明能匹配出满足光谱特性的MWDM滤光片，明显改善MWDM滤光片产品单炉的成功率，由原来的20％的成功率提升到60％，实现批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mwdm 滤光 薄膜 制作方法 | ||
【主权项】：
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