[发明专利]一种ICP光谱仪光学系统在审
申请号: | 202110138916.3 | 申请日: | 2021-02-01 |
公开(公告)号: | CN112945941A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 武建芬;黄建国;薛术 | 申请(专利权)人: | 北京华科精仪科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73;G01N21/01 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 陈攀 |
地址: | 100055 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种ICP光谱仪光学系统,涉及光学仪器技术领域,包括:光室系统以及透射前置光路组件,在透射前置光路组件中采用两块镀膜紫外融石英的双凸透镜,在增加光通量的基础上,延长了透射前置光路组件的长度,避免CCD检测器距离光源太近对其产生电磁干扰;同时将复合光通过快门单元的光阑限制进行杂光抑制,后入射至非球面准直镜,再入射到棱镜和中阶梯光栅封装在一个黑盒子内,其只保留的入射和出射的光通路,解决了现有光谱仪棱镜反射杂光和光栅多级次杂光影响问题,而只有非球面准直镜、非球面聚焦镜位置的调整,取消中阶梯光栅的可调而带来的复杂性,优化了整机光学系统装调的效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 icp 光谱仪 光学系统 | ||
【主权项】:
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