[发明专利]一种ICP光谱仪光学系统在审

专利信息
申请号: 202110138916.3 申请日: 2021-02-01
公开(公告)号: CN112945941A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 武建芬;黄建国;薛术 申请(专利权)人: 北京华科精仪科技有限公司
主分类号: G01N21/73 分类号: G01N21/73;G01N21/01
代理公司: 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 代理人: 陈攀
地址: 100055 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种ICP光谱仪光学系统,涉及光学仪器技术领域,包括:光室系统以及透射前置光路组件,在透射前置光路组件中采用两块镀膜紫外融石英的双凸透镜,在增加光通量的基础上,延长了透射前置光路组件的长度,避免CCD检测器距离光源太近对其产生电磁干扰;同时将复合光通过快门单元的光阑限制进行杂光抑制,后入射至非球面准直镜,再入射到棱镜和中阶梯光栅封装在一个黑盒子内,其只保留的入射和出射的光通路,解决了现有光谱仪棱镜反射杂光和光栅多级次杂光影响问题,而只有非球面准直镜、非球面聚焦镜位置的调整,取消中阶梯光栅的可调而带来的复杂性,优化了整机光学系统装调的效率和精度。
搜索关键词: 一种 icp 光谱仪 光学系统
【主权项】:
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