[发明专利]一种PVK-TMDCs范德华异质结及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110140994.7 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN112909126B 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 黄寒;邵子依;郭晓;肖君婷;游思雯 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;H01L31/0352;H01L51/48;H01L51/42;H01L51/46
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 赵晓琳
地址: 410083 *** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了PVK‑TMDCs范德华异质结及其制备方法,属于光电材料技术领域。本发明采用化学气相沉积法在基底上制备过渡金属硫族化合物薄膜;采用物理气相沉积法在所述过渡金属硫族化合物薄膜表面制备钙钛矿薄膜,得到PVK‑TMDCs范德华异质结。本发明采用化学气相沉积法在基底上制备过渡金属硫族化合物薄膜,得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜,然后采用物理气相沉积法在过渡金属硫族化合物薄膜表面制备钙钛矿薄膜,过渡金属硫族化合物薄膜可以对钙钛矿薄膜生长的结构和能级起到调控作用,防止异质结界面中出现杂质,提高光电材料的光电探测性能。
搜索关键词: 一种 pvk tmdcs 范德华异质结 及其 制备 方法
【主权项】:
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