[发明专利]MEMS线性加速度计和形成方法有效
| 申请号： | 202110141521.9 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112505354B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 徐宝;李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇;徐元;吴刚 | 申请（专利权）人： | 杭州麦新敏微科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 杭州创智卓英知识产权代理事务所(普通合伙) 33324 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS线性加速度计和形成方法，该MEMS线性加速度计包括检验质量块和隧道尖端，该隧道尖端设为多个，分布在该检验质量块的四侧，且在该检验质量块的四侧中的至少一侧，该隧道尖端对应设有至少两个，通过将隧道尖端设为多个，分布在该检验质量块的四侧，且在该检验质量块的四侧中的至少一侧，该隧道尖端对应设有至少两个，使得该检验质量块的同一侧的个别隧道尖端发生损坏时，其它隧道尖端还能继续使用，从而使得MEMS线性加速度计灵敏度高，并且可靠性强。 | ||
| 搜索关键词： | mems 线性 加速度计 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州麦新敏微科技有限责任公司，未经杭州麦新敏微科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110141521.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种洁净齿龈护理牙粉及其制备方法
- 下一篇：一种直接金属沉积增材制造设备
