[发明专利]一种掺杂的氮化铝钪靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110142207.2 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN112962071B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 邱从章 | 申请（专利权）人： | 长沙淮石新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 钟丹;魏娟 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺杂的氮化铝钪靶材及其制备方法和应用，将氮化铝粉末、氮化钪粉末和R源粉末混合，获得混合料，混匀料制坯、均温处理获得坯料，坯料后处理，即得氮化铝钪靶材，所述R源粉末中的R选自选自除钪以外的16种稀土元素中的一种；所述混匀料中，R的原子百分比为0.01～10％；所述R源选自金属R或选自金属R和R的氮化物粉末。所述制备方法，通过在原料中引入稀土和/或稀土氮化物，采用粉末冶金成型的方法，利用稀土和稀土氮化物的协调变形作用，有利于氮化铝钪在高温状态下变形和致密化，最终实现制备得到高致密化的氮化铝钪靶材。氮化铝钪靶材作为溅射靶材制备压电薄膜，成膜质量高，薄膜性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氮化 铝钪靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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