[发明专利]一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用有效
| 申请号： | 202110144469.2 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113144760B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 胡军;谢波;陈敏瑞;丁伯胜;王一涛 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学;浙江固微科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/88 | 分类号： | B01D46/88;B01D46/42;C23C14/22;G01N33/00 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用，包括主体构件和对中辅助构件，主体构件包括环形底座、固定环及过滤锥；环形底座一端外侧设有外台阶环，固定环的内侧设有内台阶环，固定环套设在环形底座外，通过第一连接件与安装平面连接，环形底座与固定环的内壁之间间隙配合，外台阶环顶面与内台阶环顶面相贴合；过滤锥与环形底座可拆卸连接；对中辅助构件包括对中辅助环和与对中辅助环内径相匹配的、套设在对中辅助环内的对中辅助棒；对中辅助环与环形底座可拆卸连接。本发明将过滤锥安装在一个位置可调的底座上来实现位置调动功能，并通过辅助对中装置使过滤器对中于团簇束流轴线上，达到沉积高质量团簇组装薄膜材料的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 中的 团簇束 流过 滤器 及其 应用 | ||
【主权项】：
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