[发明专利]一种交叉排布双环路侧部加热器及晶硅铸锭炉在审

专利信息
申请号: 202110144662.6 申请日: 2021-02-03
公开(公告)号: CN112831827A 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 路景刚 申请(专利权)人: 路景刚
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/06;C30B30/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种侧部加热器及晶体硅铸锭炉,所述侧部加热器包括两个闭合导电环路,分别围绕坩埚一周;在每个导电环路上,分别设置两或三个电极接入点,两环路的电极接入点在周长上交替布置;石墨电极穿过保温板直接或通过中间连接板连接加热器环路;在每个电极接入点附近,两环路在竖直方向上交叉一次;在交叉点处,安装绝缘瓦片实现两环路间的电绝缘;在各自环路的石墨电极上,施加单相或三相交变电压。所述侧加热器产生的旋转磁场和在熔硅周边方向一致的向上或向下的运动磁场,驱动熔硅做水平旋转流动,同时在周边区域做相对一致的向上或向下的流动,在保证合适对流强度的前提下,改善冷热区均匀性,有利于实现高质量的铸造单晶生长。
搜索关键词: 一种 交叉 排布 环路 加热器 铸锭
【主权项】:
暂无信息
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