[发明专利]基板玻璃面抛光设备有效
申请号: | 202110145868.0 | 申请日: | 2021-02-02 |
公开(公告)号: | CN112847119B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;王耀君;廖民安;张旭;李庆文;胡恒广 | 申请(专利权)人: | 河北光兴半导体技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司 |
主分类号: | B24B29/08 | 分类号: | B24B29/08;B24B41/06;B24B41/02;B24B49/00;B24B55/00 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 胡婷婷 |
地址: | 050035 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本公开涉及一种基板玻璃面抛光设备,包括相对设置的机架上平台和机架下平台、驱动机构以及抛光结构,驱动机构包括至少两级平行双曲柄机构,驱动机构中的第一级平行双曲柄机构的动力输入端连接于机架上平台和机架下平台中的一者,驱动机构中的末级平行双曲柄机构的动力输出端与待抛光的基板玻璃和抛光结构中的一者连接,待抛光的基板玻璃和抛光结构中的另一者设置于机架上平台和机架下平台中的另一者,至少两级平行双曲柄机构同时且相互独立地运转,以带动待抛光的基板玻璃和抛光结构中的一者平行于待抛光的基板玻璃和抛光结构中的另一者平动。通过上述技术方案,能够保证基板玻璃表面上各点得到均匀一致的抛光,有效地提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 抛光 设备 | ||
【主权项】:
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