[发明专利]陶瓷加热器及热电偶引导件在审
| 申请号： | 202110146194.6 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113207200A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 常川大介;本山修一郎 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;郭玫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供陶瓷加热器及热电偶引导件。陶瓷加热器(10)具备：具有晶片载置面(20a)的圆盘状的陶瓷板(20)；一端接合在陶瓷板(20)中与晶片载置面(20a)相反侧的背面(20b)的筒状轴(40)；为陶瓷板(20)的背面(20b)中的筒状轴(40)的内侧的轴内区域(20d)；从轴内区域(20d)的外周部的起点(S)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(E)的长孔(26)；以及以外周侧热电偶(50)的前端进入长孔(26)的起点(S)的方式进行引导的热电偶引导件。热电偶引导件(32)中，从筒状轴(40)的下端到长孔(26)的起点(S)为止的部分设置成沿着筒状轴(40)的内壁的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 热电偶 引导 | ||
【主权项】：
暂无信息
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