[发明专利]光学装置、物品制造方法以及光学部件制造方法在审
| 申请号： | 202110147111.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN113311667A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 川岛春名 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B1/18;G02B1/115 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及光学装置、物品制造方法以及光学部件制造方法。曝光装置构成为具备：光源，射出具有连续的波长域的光；以及至少1个光学元件，设置有包含光触媒膜的光学膜，从所述光源射出的光经由所述至少1个光学元件入射到被照射面。从所述光源射出并经由所述至少1个光学元件入射到所述被照射面的光的波长域的下限波长由所述光触媒膜的光吸收特性决定。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 物品 制造 方法 以及 部件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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