[发明专利]基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法在审
| 申请号： | 202110148034.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112960644A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘德明;申德振;刘雷;徐海;程祯;梁哲文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;C01B32/15;B82B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 于晓庆 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法，涉及纳米结构控制生长领域，本发明以纳米针尖为基底装载在透射电子显微镜样品杆上；通过汇聚电子束光斑辐射纳米针尖表面，诱导纳米针尖表面的非晶碳三维纳米结构生长；按模型图案移动电子束光斑进行直写，纳米针尖表面的非晶碳三维纳米结构跟随着电子束光斑的移动进行生长，实现对纳米针尖表面非晶碳三维纳米结构的可控生长。本发明利用电子束诱导的非晶碳沉积现象，以纳米针尖为基底有效增强局部电场强度，加快电子束诱导有机分子还原成非晶碳的速率，实现非晶碳三维纳米结构的精确、可控的快速生长；同时通过操控电子束的辐照位置可精确控制非晶碳在纳米针尖基底表面的生长方向。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 针尖 增强 电子束 诱导 纳米 结构 可控 生长 方法 | ||
【主权项】：
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