[发明专利]一种提高GaAs光电阴极稳定性的激活方法有效
申请号: | 202110149423.X | 申请日: | 2021-02-03 |
公开(公告)号: | CN112885684B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 张益军;宋淳;荣敏敏;李诗曼;张锴珉;舒昭鑫;李姗;詹晶晶;钱芸生 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | H01J29/04 | 分类号: | H01J29/04;H01J31/50;H01J37/02;H01J37/26;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 岑丹 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种提高GaAs光电阴极稳定性的激活方法,包括两次Cs/Li/NF |
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搜索关键词: | 一种 提高 gaas 光电 阴极 稳定性 激活 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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