[发明专利]多变量耦合原位光学反射和电导测试装置和测试方法在审

专利信息
申请号: 202110151181.8 申请日: 2021-02-03
公开(公告)号: CN112945854A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 刘保顺;宫梦涛;武志洲;李刘阳 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/39;G01N21/84;G01N27/04
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 许美红
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种多变量耦合原位光反射和光电导测试装置,包括原位测试池,以及与该原位测试池连接的温控装置、电学测试源表、真空泵系统和气氛系统,该原位测试池上方还设有探测光信号发生源、激发光发生源、光电探测器,该测试装置还包括与信号光光电探测器连接的功率计,该测试装置还包括计算机,对温控装置、电学测试源表、气氛系统和功率计进行自动控制。本发明能够实现温度、光照气氛和真空的多变量耦合,可以获得高质量、高灵敏度的原位稳态和瞬态光学吸收和电导的测量。
搜索关键词: 多变 耦合 原位 光学 反射 电导 测试 装置 方法
【主权项】:
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