[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110152215.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN112981314B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 何瑞亭;李晓康 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀设备，由于该蒸镀设备是在一蒸镀源外侧周缘围设第一蒸镀挡板，第一蒸镀挡板与蒸镀源之间的间隙很小，因此能够减小蒸镀设备中第一蒸镀挡板的面积和重量，也极大地减少了第一蒸镀挡板的部件和安装空间，这样设计能够在蒸镀设备运行时，避免部件间的碰撞或干涉，提高蒸镀设备作业的流畅性，也可以避免在运载待蒸镀基板时，大件蒸镀挡板影响机器运作，使待蒸镀基板上产生蒸镀印记不良。该蒸镀设备还对应蒸镀源设置了遮挡部，这种小巧轻便的挡板设计能够改善蒸镀设备挡板的固定点易于损坏的问题，进而避免蒸镀印记不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司，未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110152215.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
