[发明专利]一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺

摘要

本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，包括以下步骤：氢还原处理：选用镍粉和铬粉放入推板窑炉中进行氢还原处理；靶材材料混合：将氢还原处理后的镍粉和铬粉进行混料，制得混合金属粉料；热喷涂：在氩气保护气氛内，采用等离子热喷涂的方式将混合金属粉料喷涂于衬管侧壁上，混合金属粉料在衬管侧壁上形成一层靶管，制得管靶胚体；精加工：对管靶胚体进行精密机械加工，获得最终热喷涂管靶。本申请的制备方法具有减少靶管内氧化物杂质颗粒，提高镀膜层与玻璃表面的连接牢固度优点。