[发明专利]一种超薄掩膜版及其加工方法

摘要

本发明涉及超薄掩膜版技术领域，且公开了一种超薄掩膜版，包括第一L型防护板，所述第一L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的内腔活动连接有超薄掩膜版本体。该超薄掩膜版及其加工方法，通过超薄掩膜版本体的外侧分别设有第一L型防护板和第二L型防护板，由于第一L型防护板的形状特点和第二L型防护板的形状特点，便于对超薄掩膜版本体的四侧进行防护，通过第一L型防护板和第二L型防护板之间利用第一伸缩杆、挡板和第一弹簧连接，便于将第二L型防护板的一侧卡在第一L型防护板的后侧上，使得第二L型防护板在不受外力的情况下第二L型防护板能够与第一L型防护板连接，提高了对超薄掩膜版本体四侧防护的稳定性。