[发明专利]控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法有效
| 申请号： | 202110160613.1 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112981343B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 赵勇 | 申请（专利权）人： | 苏州光昛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;G02F1/155 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法，所述电致变色器件包括第一透明导电层和第二透明导电层，利用磁控溅射工艺在基板上镀第一透明导电层和第二透明导电层时，沿着第一透明导电层的阳极到阴极方向，所使用的氧气分压梯度逐渐减少，沿着第二透明导电层的阳极到阴极方向，说是使用的氧气分压梯度逐渐增加。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 尺寸 固态 变色 器件 着色 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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