[发明专利]流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法有效
申请号: | 202110172194.3 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN113007405B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 张征;陈正堂;赵迪 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创流量计有限公司 |
主分类号: | F16K17/20 | 分类号: | F16K17/20;F16K31/04;F16K37/00;G05D7/06 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京市北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提供一种流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法,该流量阀包括阀体、设置在阀体内的移动组件和与移动组件连接的位移传感器,其中:移动组件用于根据接收到的移动信号进行移动,以调节流量阀的流量;位移传感器用于根据移动组件的移动量确定流量阀的实际开度信号,并向流量阀开度控制器发送实际开度信号。应用本申请,可以对MFC上流量阀的开度实现精确控制,提高了MFC的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 流量 质量 控制 装置 阀开度 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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