[发明专利]一种压电单晶层叠驱动器的制备方法有效
| 申请号： | 202110173478.4 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113013321B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨静雅;徐卓;刘金凤;贾楠香;王三红;李飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H10N30/057 | 分类号： | H10N30/057;H10N30/045;H10N30/067;C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，对单晶片依次进行三维定向、切割、减薄、清洗，得到多个单晶薄片；步骤2，将得到的单晶薄片放置在溅射电极模具中进行溅射电极，得到单晶薄片电极；步骤3，将得到的单晶薄片电极放置在极化装置中进行电极极化，得到极化后的单晶薄片电极；步骤4，利用堆叠模具对极化后的单晶薄片电极进行堆叠，得到压电堆；步骤5，在得到的压电堆的侧面溅射电极，得到层叠驱动器；本发明解决了现有的层叠驱动器只能单片制备，不能批量生产的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 层叠 驱动器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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