[发明专利]晶硅切割液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110175428.X | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112779079B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 邓舜;马琦雯 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;B28D5/00;C10N30/06;C10N30/04;C10N30/18;C10N30/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶硅切割液，其组分包括高分子嵌段聚醚、醇类润湿剂A和醇类润湿剂B；高分子嵌段聚醚为环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的嵌段共聚物；醇类润湿剂A为接环氧乙烷和环氧丙烷改性的醇类；醇类润湿剂B为接环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷改性的炔二醇乙氧基化合物。本发明晶硅切割液具有优良的润湿、冷却、润滑、清洗、带屑和低泡性能，还有很好的渗透性和抗菌性，可以循环使用；本发明晶硅切割液可以有效地降低硅片表面的TTV，降低线痕，降低金刚线与硅片表面的摩擦，提高一级品率；本发明晶硅切割液还可有效地保护金刚线，减少金刚线的磨损，提高金刚线的耐用度，进而提高产能和经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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