[发明专利]信息处理装置、信息处理方法以及计算机可读记录介质在审
| 申请号： | 202110177111.X | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113296367A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 田所真任;榎本正志;鹤田丰久;中村泰之;柴和宏 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供信息处理装置、信息处理方法以及计算机可读记录介质，能够在基板上高精度地形成膜等构造物。信息处理装置的一例具备：预测部，其构成为基于膜厚模型和事前数据来计算基板处理装置对基板进行处理时的预测膜厚，所述膜厚模型表示基板处理装置的状态与通过基板处理装置形成于基板的表面的涂布膜的膜厚的关系，所述事前数据表示通过基板处理装置对基板进行处理前的基板处理装置的状态；以及输出部，在通过基板处理装置对基板进行处理之前，所述输出部基于预测膜厚来输出与基板的处理有关的指示信息。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 方法 以及 计算机 可读 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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