[发明专利]一种激光器阵列温度检测方法及装置有效
申请号: | 202110177666.4 | 申请日: | 2021-02-09 |
公开(公告)号: | CN112945415B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 王俊;刘畅;刘恒;肖垚;程志童 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李静玉 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光器阵列温度检测方法及装置,该方法包括:获取激光器阵列低于阈值电流时的阵列各发光单点的第一光谱信息;获取激光器阵列设定电流时的阵列各发光单点的第二光谱信息;根据第一光谱信息、第二光谱信息以及激光器阵列的温漂系数计算得到激光器阵列的各发光单点温度值。本发明实施例提供的激光器阵列温度检测方法,通过获取激光器阵列中各发光单点在阈值电流以下时的第一光谱信息和设定电流时的第二光谱信息,由于光谱信息中包含各发光单点的波长信息,可以通过波长和温度的关系实现温度的分布式检测。因此,该方法与探针接触式检测方法相比,通过非接触测量,可以避免探针对阵列芯片的损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光器 阵列 温度 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
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