[发明专利]一种纳米氧化铈-石墨烯复合颗粒的制备方法有效
| 申请号： | 202110179594.7 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN112961653B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 罗荣辉;何宏谦;吴胜文;黄华翠 | 申请（专利权）人： | 广西立之亿新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 张晓冬 |
| 地址： | 530007 广西壮族自治区南宁市高新区滨河路28号中国-东盟企业总部基*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体涉及一种纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的制备方法。一种纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的制备方法，包括以下步骤：(1)制备氧化铈微粉；(2)制备氧化铈悬浮液；(3)制备石墨烯悬浮液；(4)制备氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品；(5)煅烧氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品。本发明制备的纳米氧化铈‑石墨烯的颗粒中氧化铈很好的复合在石墨烯的表面，氧化铈粒径在10‑5000nm可控、粒径分布窄、易于分散；可应用于半导体领域的化学机械抛光以及抛光液的分散。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 氧化 石墨 复合 颗粒 制备 方法 | ||
【主权项】：
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