[发明专利]一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法有效
| 申请号： | 202110180091.1 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN113026090B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;陈端阳 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/16 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘文求;朱阳波 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法，检测方法包括步骤：控制所述激光器发出激光，并通过所述接收器得到所述籽晶杆对应的光斑图像序列；所述光斑图像序列中的光斑图像为籽晶杆一个振动周期内的光斑图像，所述光斑图像序列包括第一光斑图像和第二光斑图像；根据所述光斑图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息。由于通过接收器得到籽晶杆对应的光斑图像序列，光斑图像序列包括第一光斑图像和第二光斑图像，并根据光斑图像序列，得到籽晶杆的抖动信息，从而检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 抖动 检测 装置 方法 晶体生长 | ||
【主权项】：
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