[发明专利]一种应用于气体质量流量控制器的法兰

摘要

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。本发明结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。