[发明专利]谐振器和谐振器的制造方法有效
| 申请号： | 202110181071.6 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112953440B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 邓晔 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种谐振器和谐振器的制造方法，该谐振器的特征在于，包括：衬底；压电层，该压电层由PMNT材料形成并且形成在所述衬底上；电极，该电极形成在所述压电层上；以及氧化层，该氧化层形成在所述电极上并且覆盖所述电极。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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