[发明专利]三维测量装置在审
申请号: | 202110187715.2 | 申请日: | 2021-02-18 |
公开(公告)号: | CN113295110A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 广瀬和义;龟井宏记;杉山贵浩;渡边明佳 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25;H01S5/06 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 三维测量装置(101)具备:一个或多个光源部(102),其对被测量物(SA)照射具有规定图案的测量光(105);一个或多个摄像部(103),其对被照射了测量光(105)的被测量物(SA)进行摄像;测量部(104),其基于摄像部(103)的摄像结果测量被测量物(SA)的三维形状,光源部(102)由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。 | ||
搜索关键词: | 三维 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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