[发明专利]用于等离子体羽流的过滤器在审

专利信息
申请号: 202110191074.8 申请日: 2021-02-19
公开(公告)号: CN113355641A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: J·M·德克斯;K·H·A·玻姆;W·C·L·霍普曼;J·A·霍伊费尔;J·A·扬森斯 申请(专利权)人: 索尔玛特斯有限责任公司
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28;C23C14/54;B01D46/00;B01D46/42
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 许剑桦
地址: 荷兰恩*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于从等离子体羽流中过滤颗粒的过滤器,其包括:壳体,该壳体有两个穿透开口,穿透开口布置在壳体壁中,并形成用于至少一部分等离子体羽流穿过壳体的穿透槽道,穿透槽道从壳体的一侧延伸至相对侧;至少一个第一叶片,其布置在离旋转轴线一定距离处且可绕其旋转,旋转轴线与穿透槽道的中心线平行和间隔开,至少一个第一叶片的通路与穿透槽道相交,至少一个第一叶片有用于与等离子体羽流接触的接触表面,接触表面面向旋转方向;排出槽道,排出槽道与布置在壳体壁中的排出开口连接,其中,与穿透槽道的中心线和从旋转轴线延伸的径向线都垂直地延伸的线延伸穿过排出开口,径向线延伸通过穿透槽道的中心线和至少一个第一叶片的通路。
搜索关键词: 用于 等离子体 过滤器
【主权项】:
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