[发明专利]一种石墨载盘装置在审
| 申请号： | 202110191280.9 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN112786502A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 肖遥;陈笔宇;程伟;林志园;张剑 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨载盘装置，包括载盘架及石墨载盘，载盘架包括若干支撑杆及分别用于连接各支撑杆两端的两块固定座，各支撑杆设有若干个连接凹槽，支撑杆的连接凹槽能够分别与其他支撑杆的一个连接凹槽形成一组定位凹槽，各连接凹槽底部设有卡槽，同一组定位凹槽的卡槽形成一组定位卡槽，石墨载盘能够垂直定位于一组定位凹槽，且石墨载盘的边沿凸出部能够定位于同一组定位凹槽的一组定位卡槽，本发明既可避免石墨载盘磕碰缺失，提升了石墨载盘的寿命；还防止石墨载盘不稳，倾斜在载盘架上；且卡槽与连接凹槽的侧壁距离设置，烘烤时气流可正常流通，改善了化学反应物去除不充分的问题，提升后续MOCVD制程时外延片的表面良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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