[发明专利]一种掩膜版批量临时存储装置及掩膜版周转系统在审
| 申请号： | 202110192845.5 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN112811062A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张华超;甄华彪;魏晖;葛翔 | 申请（专利权）人： | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 夏舜 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版批量临时存储装置，包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面上的固定导梁，两所述固定导梁上设置有移动架，所述移动架沿所述固定导梁轴线方向移动进出框状结构的存储架内部区域，所述移动架上设置有夹紧机构；本发明的一种掩膜版批量临时存储装置，具有能够自动存取掩膜版的临时存储装置，能够解决工序的产品堆积问题，同时也能避免对产品造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 批量 临时 存储 装置 周转 系统 | ||
【主权项】：
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